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光學(xué)測(cè)量儀Mitutoyo

物鏡投影儀顯微鏡

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日本三豐Mitutoyo物鏡白光干涉光學(xué)單元 WLI-Unit 利用白光干涉的非接觸式高精度精細(xì)表面紋理測(cè)量→3D形狀測(cè)量、3D粗糙度測(cè)量高度測(cè)量精度與光學(xué)放大倍數(shù)無關(guān) 即使使用低倍率鏡頭也可進(jìn)行高 Z 分辨率測(cè)量高縱橫比測(cè)量支持高縱橫比形狀測(cè)量，檢測(cè)不依賴于光學(xué)系統(tǒng)的數(shù)值孔徑抗干擾振動(dòng)的高魯棒性小巧輕便
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